中國工程物理研究院微系統與太赫茲研究中心(Microsystem & Terahertz Research Center of CAEP)(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“微太中心”),成立于2011年,是面向國內外開(kāi)放的應用基礎、關(guān)鍵技術(shù)和應用技術(shù)科研平臺。微太中心是中國兵工學(xué)會(huì )太赫茲應用技術(shù)專(zhuān)委會(huì )的主任委員單位,并公開(kāi)出版發(fā)行科技核心期刊《太赫茲科學(xué)與電子信息學(xué)報》。
中心擁有由國家級專(zhuān)家、省部級專(zhuān)家等組成的專(zhuān)家隊伍,下設8個(gè)科研室和2個(gè)管理部門(mén),現有固定人員近200人,其中近半具有博士學(xué)位,海外歸國人員近20名,另有流動(dòng)人員(訪(fǎng)問(wèn)學(xué)者、博士后、研究生等)10余人;團隊包括微系統設計與集成、固態(tài)高壓微系統、量子與光電微系統、太赫茲通信和雷達、太赫茲模塊、太赫茲物理和微納工藝研究等方向。中心擁有近7000㎡的潔凈實(shí)驗室,具備6英寸硅基和化合物芯片制造、先進(jìn)電子封裝和三維異構集成能力的綜合工藝研究平臺。